Reinraum
Technische Daten
- Grundflächen: Reinraum: ca. 60m2, Grauraum: ca. 20m2
- Reinheitsklasse: 10.000
- Luftwechsel: ca. 50 h-1
- Raumtemperatur: 22°C ±2K
- Rel. Feuchte: 45% ±5%
Arbeitsplätze mit Zusatzausstattung
jeweils entsprechend Klasse 100 nach US-Fed-Standard 209d (Luftqualität: Abscheidegrad 99.997% für Partikel > 0.3μm
- Nasschemiearbeitsplatz mit Laminarflowboxeinheit
- Reiner Arbeitsplatz mit Laminarflowboxeinheit
- Chemieabluftbox mit Laminarflowboxeinheit
Zusatzausstattung
- Belackungsanlage Delta 20B
- Trockenofen Horo 020 inox
- Ultraschallbad
- Reinstwasseranlage
Geräte
- Bonder zum Kontaktieren von Mikroverbindungen "K&S 4123"
- Spitzenmessplatz "Süss PM 5"
- Mikroskop: Auflichtmikroskop "Axiotech 100" von Zeiss, Vergrößerung bis 1000x
- Mask Aligner zur Belichtung von Fotolacken, "Süss MJB3"
- AFM - Atomic Force Microscope "DI Multimode"
- LEO - Elektronenstrahlschreiber "LEO 1530" mit Ansteuereinheit "RAITH ELPHY PLUS"
- Aufdampfanlage "BOC Edwards Auto 500" mit einem 4fach-Elektronenstrahlverdampfer und 3 thermischen Verdampferquellen.
